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更新時(shí)間：2023-05-04 
瀏覽次數(shù)：584工藝氣體中含有的CO、CO2、HF、NH3、HCI、H2 O等分子具有吸收近紅外激光的特性，分子的濃度可以從它們的吸收強(qiáng)度確定。 由于該吸收帶（波長）因分子類型而異，因此可以通過選擇要測量的分子的吸收波長來測量氣體濃度而不會(huì)受到其他分子的干擾。 內(nèi)置在中央單元中的二極管激光器產(chǎn)生的近紅外波長激光通過稱為混合電纜的光纜從發(fā)光傳感器照射到工藝氣體中，并由光電探測器的光電晶體管的光電晶體管檢測為電信號(hào)。 檢測到的電信號(hào)被轉(zhuǎn)換回光信號(hào)，并通過環(huán)路和混合電纜返回到中央單元。 通過將照射的激光強(qiáng)度與接收到的激光強(qiáng)度進(jìn)行比較，可以測量要測量的氣體成分的濃度。 中央單元包含一個(gè)封裝有待測組件的參考單元，該參考單元不斷進(jìn)行自我校準(zhǔn)。
二極管激光器的發(fā)射強(qiáng)度也受到監(jiān)控，二極管激光器的異常和零點(diǎn)校準(zhǔn)也受到持續(xù)監(jiān)控。
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