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具有厚度和溫度校正功能(對于硅)
1. RG-7C:電動探針升降自動平臺
2. RG-5:帶手動桿的探頭上/下平臺
3. RG-7S:玻璃基板/薄膜樣品的X-Y平臺
4.TS-7D:手持式探頭型 *可選配載物臺。
半導體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
新材料/功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等)
導電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)
擴散樣品
其他(*請聯(lián)系我們)
*取決于組合測量臺類型。
圓形:最大 300 毫米(12 英寸),方形:最大 730 x 920 毫米。
[電阻率(比電阻)] 1μ ~ 300kΩ cm
[表面電阻] 5m ~ 10MΩ/sq
[電阻率(比電阻)] 1 μ 至 300 kΩ cm
[表面電阻] 5 m 至 10 MΩ/sq
RT-70V:W250×D330×H130mm
約7kg