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azbil壓力表型號(hào) V8C/V8SV8 型藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)通過(guò)使用應(yīng)用 MEMS 加工技術(shù)的傳感器提高了抗沉積性。受壓部分采用機(jī)械性能優(yōu)異、耐腐蝕、耐熱的單晶藍(lán)寶石,V8S的最高工作溫度為250℃
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azbil壓力表型號(hào) V8C/V8SV8
azbil壓力表型號(hào) V8C/V8SV8
V8 型藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)通過(guò)使用應(yīng)用 MEMS 加工技術(shù)的傳感器提高了抗沉積性。
受壓部分采用機(jī)械性能優(yōu)異、耐腐蝕、耐熱的單晶藍(lán)寶石,V8S的最高工作溫度為250℃。
通過(guò)應(yīng)用MEMS加工技術(shù),偏移量提高到原來(lái)的1/10。
應(yīng)力平衡結(jié)構(gòu)
壓力傳感部分外圓周的厚度
抵消了外圓周與中心部分的應(yīng)力平衡,使
壓力傳感部分不易變形,減少零點(diǎn)漂移。
通過(guò)對(duì)凹凸不平的傳感器
壓力傳感部分表面進(jìn)行凹凸處理,
將附著的薄膜分開(kāi),降低沉積物的應(yīng)力作用。
對(duì)于 V8S,我們通過(guò)分離基板和傳感器并審查所用材料,實(shí)現(xiàn)了 250°C 的最高工作溫度。
我們提高了內(nèi)部元器件的空間效率,體積減少了 40%。(與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比)
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