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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它支持各種膜厚分布測量。
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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101
日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101
這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。
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重復(fù)性 |
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測量速度 |
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光源 |
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測量點 |
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入射角 |
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尺寸 (寬 x 深 x 高) |
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兼容透明基材 |
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舞臺尺寸 |
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尺寸 (寬 x 深 x 高) |
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重量 |
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界面 |
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界面 |
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電源 |
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軟件 |
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配件 |
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