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日本canon數(shù)字檢流計掃描儀GM-2000系列主要特點最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下與 GM-1000 系列相比,配備新型高脈沖光學編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*,GM-2015 約為 5.8 倍* 。GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進行比較。
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日本canon數(shù)字檢流計掃描儀GM-2000系列
主要特點
1.最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下
與 GM-1000 系列相比,配備新型高脈沖光學編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*,GM-2015 約為 5.8 倍* 。
GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進行比較。
2.提高靜態(tài)穩(wěn)定性
高脈沖光學編碼器和數(shù)字伺服技術(shù)實現(xiàn)了約 GM-1000 系列的 2/3 的靜態(tài)穩(wěn)定性。
掃描角度(機械角):±20°
重復定位精度 (PP) *2:1μrad
原點重復精度*2:1μrad
溫度漂移(24小時):3μrad
日本canon數(shù)字檢流計掃描儀GM-2000系列
主要特點
1.最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下
與 GM-1000 系列相比,配備新型高脈沖光學編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*,GM-2015 約為 5.8 倍* 。
GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進行比較。
2.提高靜態(tài)穩(wěn)定性
高脈沖光學編碼器和數(shù)字伺服技術(shù)實現(xiàn)了約 GM-1000 系列的 2/3 的靜態(tài)穩(wěn)定性。
掃描角度(機械角):±20°
重復定位精度 (PP) *2 :1μrad
原點重復精度*2:1μrad
溫度漂移(24小時):3μrad