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關(guān)于日本連桿測(cè)量機(jī)的特點(diǎn)和測(cè)定方法
2024-09-04產(chǎn)品中心/ products
日本fuji 單組分濃度計(jì)FUD-1Model-130單組分濃度計(jì)特點(diǎn)Model-130是強(qiáng)調(diào)測(cè)量濃度穩(wěn)定性的概念模型,。在半導(dǎo)體制造工藝等需要高精度和高穩(wěn)定性濃度計(jì)的情況下非常有效
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日本fuji 單組分濃度計(jì)FUD-1Model-130
1.單組分濃度計(jì)特點(diǎn)
Model-130是強(qiáng)調(diào)測(cè)量濃度穩(wěn)定性的概念模型,。在半導(dǎo)體制造工藝等需要高精度和高穩(wěn)定性濃度計(jì)的情況下非常有效。
2.優(yōu)點(diǎn)
-可進(jìn)行高精度連續(xù)測(cè)量
-免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn)
-安裝方便,安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整
-實(shí)時(shí)輸出可以輕松向流程提供反饋
3.目的
-CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等
-稀釋過(guò)程中各種化學(xué)品濃度控制(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)
-清洗過(guò)程中清洗液濃度管理(HF、NH4OH、KOH、IPA等)
-蝕刻過(guò)程中蝕刻液濃度控制(HF、H2SO4等)
日本fuji 單組分濃度計(jì)FUD-1Model-130
1.單組分濃度計(jì)特點(diǎn)
Model-130是強(qiáng)調(diào)測(cè)量濃度穩(wěn)定性的概念模型,。在半導(dǎo)體制造工藝等需要高精度和高穩(wěn)定性濃度計(jì)的情況下非常有效。
2.優(yōu)點(diǎn)
-可進(jìn)行高精度連續(xù)測(cè)量
-免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn)
-安裝方便,安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整
-實(shí)時(shí)輸出可以輕松向流程提供反饋
3.目的
-CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等
-稀釋過(guò)程中各種化學(xué)品濃度控制(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)
-清洗過(guò)程中清洗液濃度管理(HF、NH4OH、KOH、IPA等)
-蝕刻過(guò)程中蝕刻液濃度控制(HF、H2SO4等)